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  • CVD合成石英HOSQ-021
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  • CVD合成石英HOSQ-021

    以四氟化硅为原料,采用CVD法制造,具有大尺寸、低杂质含量等特性,光学均匀性好,可用于LCD光掩膜基板、高能激光光学元件和半导体石英器件的制造。

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商品描述

以四氟化硅为原料,采用CVD法制造,具有大尺寸、低杂质含量等特性,光学均匀性好,可用于LCD光掩膜基板、高能激光光学元件和半导体石英器件的制造。


产品指标


型号

金属杂质

(ppb))

羟基

(ppm)

均匀性条纹

应力双折射

(nm/cm)

尺寸

(mm)

波段

(nm)

HOSQ-021<500<1000NS1D<5D1000190-2500

备注:可根据使用尺寸定制生产方案


金属杂质含量


单位:ppb

AlBaCaCrCoCuFeKLiMgMn
NiNaTi含金量
<50<5<50<2<5<5<5<20<5<5<5<5<40<5<500


光学非均匀性与应力双折射


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