蓝宝石衬底

蓝宝石衬底材料是一种用于外延生长衬底的材料，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；同时，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

蓝宝石作为优秀的衬底材料，越来越多的应用于新型半导体材料的外延生长，比如第四代宽禁带半导体氧化镓材料的外延生长

蓝宝石衬底必须具备如下特性：

高平整度：TTV＜2微米

一致性：批次产品厚度一致性要好，一般要求2微米之内；

外观无瑕疵：不允许存在崩边、缺角及内裂，因为这些缺陷的存在会导致用户使用过程中的缺陷延伸，最终导致产品失效和报废。

我公司蓝宝石衬底（基板）采用双面抛光工艺，平行度、厚度一致性及平整度达到较高水平，已被众多半导体厂家采用。

• 批量化高面型产品加工；
• 特种玻璃产品定制服务；
• 知名院所与高校的合作伙伴；
• 产品应用涵盖光学、化工、深海及高温领域；

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