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专注蓝宝石光学窗口片、蓝宝石保护窗口片、石英光学产品、红外光学产品等生产和销售。

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蓝宝石衬底片
产品分类列表
Sapphire wafer

      蓝宝石衬底材料是一种用于LED芯片衬底的材料,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

      同时,蓝宝石作为优秀的衬底材料,越来越多的应用于新型半导体材料的外延生长,比如第四代宽禁带半导体氧化镓材料的外延生长

      蓝宝石衬底必须具备如下特性:

      高平整度:TTV<2微米

      一致性批次产品厚度一致性要好,一般要求2微米之内;

      外观无瑕疵不允许存在崩边、缺角及内裂,因为这些缺陷的存在会导致用户使用过程中的缺陷延伸,最终导致产品失效和报废。

      我公司蓝宝石衬底(基板)采用双面抛光工艺,平行度、厚度一致性及平整度达到较高水平,已被众多半导体厂家采用。


项目加工指标备注
外形尺寸6英寸(150/159mm)/4英寸(100/104mm)直径公差±0.05mm
厚度1mm/0.7mm厚度公差±0.002mm
平行度10″
厚度一致性<2μm@25pcs
光洁度
80/50 
表面平整度PV:RMS≤1/30λ@100mm
镀膜不镀膜
包装
托盘包装或卡塞洁净包装