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蓝宝石衬底

蓝宝石衬底材料是一种用于外延生长衬底的材料,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;同时,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

蓝宝石作为优秀的衬底材料,越来越多的应用于新型半导体材料的外延生长,比如第四代宽禁带半导体氧化镓材料的外延生长

蓝宝石衬底必须具备如下特性:

高平整度:TTV<2微米

一致性批次产品厚度一致性要好,一般要求2微米之内;

外观无瑕疵不允许存在崩边、缺角及内裂,因为这些缺陷的存在会导致用户使用过程中的缺陷延伸,最终导致产品失效和报废。

我公司蓝宝石衬底(基板)采用双面抛光工艺,平行度、厚度一致性及平整度达到较高水平,已被众多半导体厂家采用。


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  • 批量化高面型产品加工;
  • 特种玻璃产品定制服务;
  • 知名院所与高校的合作伙伴;
  • 产品应用涵盖光学、化工、深海及高温领域;


如果您有需求,请给我们机会为您提供定制报价。

项目加工指标备注
外形尺寸6英寸(150/159mm)/4英寸(100/104mm)直径公差±0.05mm
厚度1mm/0.7mm厚度公差±0.002mm
平行度10”
厚度一致性<2μm@25pcs
光洁度
80/50 
表面平整度PV:RMS≤1/4λ@632.8mm
镀膜不镀膜
包装
托盘包装或卡塞洁净包装