18082064455
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标号 | 内容 | 技术要求 | 例子 |
0 | 应力双折射 |
0/A (A是双折射最大允许值,单位每厘米光路长度纳米) |
0/10 (双折射最大允许值10nm/cm) |
1 | 允许气泡和其他杂质 |
1/N×A (缺陷数目×其大小;等级) |
1/5×0.4 (允许缺陷的最多数量5个,等级0.40) |
2 | 不均匀性和条纹 |
2/A;B (A=不均匀性等级;B=条纹等级) |
2/1:1 (每种都是1级) |
标号 | 内容 | 技术要求 | 例子 |
3 | 形状拟合公差(俗称面型) |
3/A(B/C) (A=干涉条纹的垂直误差;B=干涉条纹的不规则度; C=干涉条纹的旋转对称不规则度) |
3/10(2) (垂直公差最大值可以是10个干涉条纹。 不规则度不大于2个干涉条纹) |
4 | 中心差 |
4/σ [σ=倾斜角,单位是分(’)] |
4/10' (最大倾斜角是10’) |
标号 | 内容 | 技术要求 | 例子 |
5 | 表面缺陷 |
5/N×A (N=表面缺陷的数量;A=表面缺陷的尺寸等级) |
5/5×0.4 (允许表面缺陷数量的最大值是5,等级0.4) |
标号 | 内容 | 技术要求 | 例子 |
6 | 激光损伤阈值 |
6/DS;λ;τeff (DS为损伤值和相关单位;λ为测试波长;τ为脉冲周期或辐 照时间) |
6/1J.cm-2;1064nm;20ns (波长1064nm和有效脉冲持续时间20ns是的损伤阈值大于1J.cm-2 的能量密度) |
抛光等级 | 每10mm测量长度允许的微缺陷数目N |
P1 | 80<N<400 |
P2 |
16<N<400 |
P3 |
3<N<16 |
P4 |
N<3 |
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