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石英衬底材料是一种用于半导体的材料,石英的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,石英的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数半导体一般都以石英作为衬底。
同时,石英作为优秀的衬底材料,越来越多的应用于新型半导体材料的外延生长,比如第四代宽禁带半导体氧化镓材料的外延生长
石英衬底必须具备如下特性:
高平整度:TTV<2微米
一致性:批次产品厚度一致性要好,一般要求2微米之内;
外观无瑕疵:不允许存在崩边、缺角及内裂,因为这些缺陷的存在会导致用户使用过程中的缺陷延伸,最终导致产品失效和报废。
我公司石英衬底(基板)采用双面抛光工艺,平行度、厚度一致性及平整度达到较高水平,已被众多半导体厂家采用。