SSP900(36B)型单面抛光机
设备规格:1150x2400x2200(WxDxH, mm)
研磨盘(抛光盘)直径:910mm
设备制造商:I & C (Apex-Cowork) (Korea)
使用电源:220V 3P 50/60Hz 25Kw
工作原理:将切割或者研磨工艺后的晶圆片,通过贴蜡或无蜡吸附垫的方式装载在两个圆形陶瓷板上,喷射抛光液或研磨液,通过旋转和加压进行研磨或抛光,最终制成镜面。
SSP50G型单面抛光机
设备规格:1690x2865x2665 (WxDxH, mm)
研磨盘(抛光盘)直径:1280mm
设备制造商:I & C (Apex-Cowork) (Korea)
使用电源:220V 3P 50/60Hz 25Kw
工作原理:将切割或者研磨工艺后的晶圆片,通过贴蜡或无蜡吸附垫的方式装载在三个圆形陶瓷板上,喷射抛光液或研磨液,通过旋转和加压进行研磨或抛光,最终制成镜面。
日本东洋多线切片机
设备规格:1700x3575x2885 (WxDxH, mm)
研磨直径:2-6寸
设备制造商:TOYO (Japan)
使用电源:220Vx3Øx60Hz, 80kVA
工作原理:利用金刚石线对一根蓝宝石/石英/碳化硅等材料依据罗拉确定的厚度进行一次多片切割,从而实现高效率高平整度的产品切割。